В основе действия спектрометров типа «СРВ-1» лежит рентгенофлуоресцентный анализ (РФА), в процессе которого производится ионизация внутренних оболочек атомов пробы. Обратный по отношению к ионизации процесс заполнения вакансий на оболочках сопровождается выделением строго определенных порций энергии, величина которых зависит только от атомного номера элемента Z. Эта энергия уносится либо путём испускания Оже-электрона, либо квантами так называемого характеристического излучения. На регистрации флуоресцентного излучения и основана идентификация элементов в процессе РФА.
В зависимости от конкретного технического задания, поставленного заказчиком (определяемые химические элементы, интервалы содержаний, допуски в погрешности определения)), применяется геометрия рентгеновской оптической системы приборов: двух-осевая схема измерения (флуоресценция атомов пробы возбуждается рентгеновским излучением непосредственно от источника) или трёх-осевая схема измерения (первичным рентгеновским излучением от источника возбуждается рентгеновская флуоресценция атомов вещества вторичной мишени, которая затем попадает на пробу и приводит к возникновению рентгеновской флуоресценции атомов пробы).
Кванты рентгеновского излучения попадают на полупроводниковый кристалл детектора. Детектор вырабатывает аналитический сигнал, амплитуда которого пропорциональна энергии кванта. Сигнал усиливается предварительным усилителем и попадает в анализатор, который сортирует сигналы по амплитуде и преобразует значение в цифровую форму для дальнейшей обработки на ЭВМ.
Энергия зарегистрированного флуоресцентного излучения (характеризуется положением аналитического пика на спектре излучения от атомов пробы) соответствует атомному номеру излучающего элемента, а интенсивность (характеризуется высотой аналитического пика) пропорциональна его концентрации.
После окончания измерений программа измерения и регистрации спектров переходит в программу расчета концентраций, где предоставляется возможность обработать спектры и получить конечные результаты в виде массовых содержаний элементов.